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GFM质量流量计

  被测气体分别流经两个层流区,一路通过主流量管道,另一路通过毛细测量管。两个管路的设计保证流体处于层流状态,因此两个管路流量比是恒定的。两个精密的温度感应绕组在测量管上被加热,当有流量产生时,被加热的气体从上游带走热量到下游的感应绕组上。产生温差和感应圈电阻的变化是成比例的。
  测量绕组的电阻值与瞬时流量成线性比例关系,采用惠斯顿电桥来检测测量绕组的电阻变化。根据被测气体的质量流量,输出0…5 V D C或者4…20mA信号。经过两个层流区的气体混合后流过具有特定孔径的电磁比例阀,质量流量测量与电磁比例阀组成闭环的控制系统,使流量稳定在设定的流量值上。在一定范围内温度和压力的变化不会影响流量测量值。

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GFM系列用于测量气体质量流量。本品外壳坚固耐用,精确度高,是一款多功能而且经济实用的流量测量产品。可选铝或不锈钢外壳,可选显示工程单位(标准)或百分比。
外形设计包括一个置于传感器顶部的LCD显示模块,这个显示模块可倾斜90度以上以方便读数。它用一个标准的插头与传感器连接,也可以分开独立安装。OEM的应用可提供无LCD显示的产品。
GFM质量流量计的测量范围是10sccm到1000sL/min(N2);用1/4",1/8"和1/2"卡套螺纹或3/4"FNPT接,可选其他连接方式。该仪表可以作为台式设备或者用螺丝在平板上固定。
电源电路采用保险丝和极性保护设计。
渗漏率:氦气测试最大泄漏率为1×10-7 sml/s。

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